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全自动/半自动探针台对6"、8"的晶圆级各类器件的性能测试，可针对不同晶圆测试，可配备相应的仪器仪表，进行I-V、C-V、光信号等特性分析，设备功能丰富，可匹配多种测试应用环境，可升级大功率晶圆测试、射频测试、全自动测试并可加载温控系统，满足客户在高低温环境下的各种晶圆器件性能测试需求。

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