HX12N系列半自动探针台
HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组,行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高,反应速度快以及使用寿命长等优势,滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统,保证了运行精度的可靠性,并且该模组为本公司自研产品,保证了模组的成品质量和生产周期,为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。
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HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组,行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高,反应速度快以及使用寿命长等优势,滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统,保证了运行精度的可靠性,并且该模组为本公司自研产品,保证了模组的成品质量和生产周期,为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。
HX12N系列半自动探针台配置高精度的直线电机滑台模组,行程满足8英寸、12英寸芯片的测试。定位精度高,反应速度快以及使用寿命长等优势,滑台同时配备了高精度的光栅反馈系统,保证了运行精度的可靠性,并且该模组为本公司自研产品,保证了模组的成品质量和生产周期,为探针台的测试提供了又快又准的硬件保障。
软件功能介绍
• 可测试圆片,测试范围可选,支持隔行抽测和环形测试,MAP图可以编辑测试;
• 支持坏点重测;
• 具备离线打点、同步打点功能;
• 具备接触缓冲功能,针痕稳定;
• 运行精度补偿功能,保证测试的稳定性;
• 测试良率、总数、速度显示;
• CCD图像自动对准和定位;
• 设备具备一定的抗干扰能力,支持高低温测试,运行稳定;
• 多BIN分类测试,测试数据可以存储,可以导出,兼容后道设备格式使用,具有数据统计分析功能;
• 操作员,管理员,系统厂家权限管理功能
参数和指标:
性能名称 | 技术指标 | |
可测片径 | 8″、12″ | |
XY工作台 | 结构 | 直线电机 |
行程 | 230mm × 220mm,分辨率:1μm | |
速度 | >200mm/s | |
定位精度 | ≤±2μm | |
承片台 | Z向行程 | 10mm,分辨率:1μm |
Z台精度 | ≤±1μm | |
Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
θ向调节范围 | ±25° | |
θ向分辨率 | 0.006° | |
显微镜/视频显示系统 | 双目体视显微镜/可选配三目显微镜及CCD实时视频显示装置 | |
控温范围 | -45℃~150 ℃ | |
温度设置分辨率 | 0.1 ℃ | |
温度均匀性 | -45°C 至 +150°C < ±1 °C,>150 °C < ±1 % |